1.系统简介

　　JP-3000真空磁控溅射镀膜机器人是一个可以在真空、高温、局部磁场的特殊环境下工作的特殊专用机器人，此项成果为国内首创。该机器人操作机为6自由度机器人操作机，由3个直角坐标轴、3个回转轴和一个真空手爪组成，是一种非标型式的机器人。用其来操作磁控靶，在特殊恶劣的环境下走出固定的轨迹，完成镀膜作业。

2．技术指标

　　(1)工具末端最大持重                  50Kg
　　(2)工作范围                          3500×1400×900mm
　　(3)手爪夹持范围                      Φ20～Φ60mm
　　(4)设备极限压力（绝对压力）          2×10-4Pa
　　(5)设备工作压力（绝对压力）          10-1～9Pa 
　　(6)工作环境温度                      120℃
　　(7)真空室空间                        Φ3000×5000mm
　　(8)真空环境最大工作合成速度           1.5m/min
　　(9)自由度数（含纵向移动轴）           6
　　(10)重复定位精度                      ±0.5mm

3．应用领域

　　JP-3000真空磁控溅射镀膜机器人可广泛地应用于天文台、航空航天、军工等各个行业。可用于研究机构，也可用于生产部门。

4．用户效益分析

　　采用JP-3000真空磁控镀膜机器人可以极大提高工作效率，用机器人代替人工，也有效地保证了镀膜质量，从而可以给用户带来可观的经济效益。该国产设备的性能良好，价格却只相当于进口产品的五分之一到三分之一。

5．供货和服务方式

　　根据用户需求设计，提供全套系统，负责现场安装调试和培训。